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微小熱式氣體質量流量計

應用領域

DTRTMFW型熱式氣體質量流量計是一種專門設計用于測量微小氣體流量的設備,其核心在于高精度的MEMS芯片流量傳感器。這種傳感器通常包含一個微型加熱器和熱電堆,通過測量上下游熱電堆的溫差并結合加熱器功率,實現氣體質量流量的高精度計算。DTRTMFW型氣體質量流量計的工作原理基于熱式氣體流量測量技術,無需溫壓補償,能夠在溫度和壓力變化的環境下提供準確穩定的測量數據。


產品特點:

采用新型的MEMS流量傳感芯片,具有較高的靈敏度和響應速度,能夠實現高精度的質量流量測量,預熱時間、零點漂移小、測量精度高。

直接測量氣體質量流量,無需對溫度、壓力、濕度等參數進行補償和修正,能有效減少因補償計算帶來的誤差。

適用于多種工況,滿量程誤差可達到±1.5%,重復性在0.2~0.5%滿量程之間,對于不同種類的氣體,只要其熱傳導特性相對穩定,都可以進行精確的測量,具有很好的通用性。 

可測量的流量范圍大,量程比通常能達到100:1,可以準確測量小流量,比如微小氣體泄漏量,當然也能滿足對大流量氣體的測量需求。

傳感器無活動部件,結構相對簡單,不易發生機械故障,磨損小,使用壽命長。

整體采用數字化電路設計,信號處理和傳輸更加準確、可靠、方便與計算機等數字系統進行通訊和集成,可實現工廠自動化,集成化管理。


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產品概述

選型指導

安裝要求

典型案例

DTRTMFW型熱式氣體質量流量計是一種專門設計用于測量微小氣體流量的設備,其核心在于高精度的MEMS芯片流量傳感器。這種傳感器通常包含一個微型加熱器和熱電堆,通過測量上下游熱電堆的溫差并結合加熱器功率,實現氣體質量流量的高精度計算。DTRTMFW型氣體質量流量計的工作原理基于熱式氣體流量測量技術,無需溫壓補償,能夠在溫度和壓力變化的環境下提供準確穩定的測量數據。


產品特點:

采用新型的MEMS流量傳感芯片,具有較高的靈敏度和響應速度,能夠實現高精度的質量流量測量,預熱時間、零點漂移小、測量精度高。

直接測量氣體質量流量,無需對溫度、壓力、濕度等參數進行補償和修正,能有效減少因補償計算帶來的誤差。

適用于多種工況,滿量程誤差可達到±1.5%,重復性在0.2~0.5%滿量程之間,對于不同種類的氣體,只要其熱傳導特性相對穩定,都可以進行精確的測量,具有很好的通用性。 

可測量的流量范圍大,量程比通常能達到100:1,可以準確測量小流量,比如微小氣體泄漏量,當然也能滿足對大流量氣體的測量需求。

傳感器無活動部件,結構相對簡單,不易發生機械故障,磨損小,使用壽命長。

整體采用數字化電路設計,信號處理和傳輸更加準確、可靠、方便與計算機等數字系統進行通訊和集成,可實現工廠自動化,集成化管理。



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